SIA „Baltic Scientific Instruments” ar 01.05.2020. ir uzsākusi darbu pie jauna pētniecības projekta.
Projekta nosaukums:
Tehnoloģiski pētījumi, lai radītu nākamās paaudzes mazizmēra 100 keV bora jonu implantācijas iekārtu ar TRL līmeni tuvu pie 4
Projekta līguma numurs:
1.1.1.1/19/A/144
Projekta īstenošanas termiņš:
36 mēneši, 01.05.2020. - 30.04.2023.
Projekta kopējais finansējums:
648 000 EUR, no tā ERAF atbalsta apjoms – 374 544 EUR
Projekta partneri:
Latvijas Universitāte (vadošais partneris, 60% projekta finansējuma),
SIA "Baltic Scientific Instruments" (partneris, 40% finansējuma)
Projekta zinātniskais vadītājs:
Dr.fiz. Arnolds Ūbelis
Projekta administratīvais vadītājs:
Dr.chem.Valdis Avotiņš
Projekta mērķis:
Vispārējais mērķis ir attīstīt jaunas paaudzes implantēšanas tehnoloģijas tehnisko nodrošinājumu / aparātu kopumu ar virsmērķi nākotnē tādus ražot un lietot Latvijā, kā arī eksportēt.
Projekts attīstīs sekojošas inovatīvas tehnoloģijas koncepta prototipa formā:
- bora jonu radīšana dobā katoda ierosmes sistēmā ar induktīvi saistītas plazmas aktivāciju reakciju zonai un magnētiskā šņores tipa plazmas saspiešanu, lai jonu kūlis nepieskartos ķivetes siniņām, tādejādi izsargājoties no kondensācijas. Lielie industriālie implantēšanas aparāti lieto ļoti toksisko bora fluorīda gāzi, lai minimizētu kondensāciju. Šī projekta viena no inovācijām ir maz toksiska cietvielas boru bagāta pulvera izmantošana;
- jonu kūļa paātrināšana ar klasisku lineārā paātrinātāja sistēmu, kas reducē cenu, svaru, izmērus un energopatēriņu;
- jonu kūļa paātrināšana ar kvadrupola masas selektoru (QMS), jo tas ir būtiski mazāks, lētāks un vieglāks nekā tradicionāli izmantotais dubultfokusēšanas magnēta atommasas filtrs. Tomēr dopanta tīrībai šeit ir ultimatīva nozīme, tāpēc plānots izmantot pagaidām implantācijā ne pārāk plaši pielietotu QMS metodi, kas sevi apliecinājusi masas spektrometrijā.
Projekta galvenās darbības:
D1 –jonu implantācijas iekārtas laboratorijas prototipa izstrāde un attīstīšana,
D2 – bora jonu avota izstrāde, attīstīšana un palaišana,
D3 – jonu kūļa apstrāde ar QMS filtru un palaišana,
D4 – jonu paātrinātāja izstrāde, industriālā testēšana un palaišana,
D5 – Projekta rezultātu izplatīšana un intelektuālā īpašuma tiesību aizsardzība.
Projekta galvenie sasniedzamie rezultāti:
Zinātnisko rakstu skaits, kas publicēti Web of Science vai SCOPUS (A vai B) datubāzēs iekļautos žurnālos vai konferenču rakstu krājumos un kuru izstrādei un publicēšanai sniegts atbalsts projekta ietvaros – 7. No tiem oriģināli zinātniskie raksti, kas publicēti žurnālos vai konferenču rakstu krājumos, kuru citēšanas indekss sasniedz vismaz 50 procentus no nozares vidējā citēšanas indeksa - 2.
Jaunu produktu/tehnoloģiju skaits, kas ir komercializējamas un kuru izstrādei sniegts atbalsts projekta ietvaros – 1.
Jauna produkta/tehnoloģijas prototipi – 1.
Komersantu skaits, kuri sadarbojas ar pētniecības organizāciju – 1.
Tehnoloģiju tiesības - patents – 1.
